二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I PH2 #9227307 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor是用于生产半导体和存储器件的通用工具。反应堆使用磁约束等离子体在半导体基板上沉积薄膜。AMAT Centura I PH2配备了200MHz Powerline™过程控制管理软件，能够控制多达四个等离子体源。反应堆室的温度范围为-25 °C至40°C，其尺寸为直径14英寸（35.56厘米），高度18英寸（45.72厘米）。应用材料Centura I PH2反应堆使用磁性限制设备将材料蚀刻和沉积到半导体基板上。该系统使用一组集成的电磁体，产生包含和修改等离子体的磁场。这些场创建一个稳定的环境，并在整个基板上提供均匀的温度。这使得Centura I PH2在晶圆处理过程中保持高度控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2反应堆的腔室完全封闭，化学惰性。它还有一个用于输送惰性气体的加压输送装置。这台机器有助于保持等离子体的均匀性和沉积在晶圆表面上的薄膜的厚度。它还确保沉积过程中使用的气体不被环境空气污染。AMAT Centura I PH2 Reactor还配备了高性能的火炬，用于将等离子体引向晶圆。火炬能够传递能量通量到4W/cm2，并且能够处理任何尺寸可达200毫米的基板。火炬以6m/min的速率将等离子体引向晶片。APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor是用于制造半导体和存储器件的最先进的工具之一。它在沉积过程中提供了卓越的控制，能够在整个基板上提供均匀的结果。该工具还能够处理各种材料，包括金属、电介质和纳米材料。