二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II 5200 #293819421 待售
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ID: 293819421
晶圆大小: 8"
优质的: 2019
Metal etchers, 8"
(2) Dual wide body chambers, DPS / DTM
Usage: ~50,000 wafers run
APEX 5513 RF Generator
MKS GHW12A RF Unit
Gas set: CF₄, O₂, CHF₃, N₂, SF₆, Ar, HBr, Cl₂, C₄F₈
EBARA Pump
SBC
2019 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II 5200是一种物理气相沉积（PVD）工艺工具，用来製造超细半导体器件。它是一种先进的工业工具，旨在为需要比其他标准PVD系统更严格性能的晶体管、存储器和集成电路的大批量生产做出贡献。AMAT Centura II 5200具有并行的高真空室设计，带有后载机器人，方便晶圆运输。这个机器人可以同时容纳一个200毫米晶圆或两个较小的晶圆，使系统能够处理大批量生产。该工具配有高真空泵，包括涡轮分子泵送系统和扩散/涡旋组合泵。它还配备了一个MultiHead Source，在一个行星轨道上提供最多四个源，在一个公转中覆盖晶圆周围高达270度。APPLIED MATERIALS Centura II 5200能够在各种腔室配置、材料、气体和压力条件下运行。它具有自动压力控制和高精度快门，可确保在各种闸门应用中保持一致和可重复的薄膜厚度沉积。此外，它还通过先进的准直和旋转控制保证光滑的表面光洁度镀层。该工具还提供高级Web监控软件、自动晶圆跟踪和工具状态,以确保胶片覆盖范围一致。总体而言,Centura II 5200是一个高级PVD系统,旨在满足质量和吞吐量性能要求。它能够处理精细的沉积过程，并创造出超薄的半导体器件。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II 5200具有一系列功能和高级性能,使用户能够获得最高的生产产量。
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