二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #293608752 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+是一种创新的等离子体蚀刻反应器设备，设计为一种超高性能的设备，用于材料的高精度蚀刻。该系统的设计是为了在蚀刻半导体基板时达到最高精度和性能水平。AMAT Centura II DPS+具有改进的封闭式设计,可最大程度地减少排气和操作员安全风险。腔室的热壁设计提高了等离子体均匀性，显着减少了对基材的热冲击。所有材料都通过淋浴头加工，而不是定向蚀刻，后者在基板上提供均匀的蚀刻轮廓。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+单元有几个控制,可以精确调整蚀刻过程。这些包括调节工艺室温度、气流和电压的能力。温度、气流、电压针对特定应用进行了优化，包括深沟蚀刻、高速蚀刻、纵横比蚀刻。Centura II DPS+的可燃气体排气保持严密控制，确保操作人员的最高安全水平。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II DPS+使用先进的闭环控制机，允许对过程进行错综复杂的控制。AMAT Centura II DPS+还包括增强的光学和角度气体线以提高轴均匀性。刀具的光学元件也增加了吞吐量,并提高了蚀刻质量。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+与AMAT FOBOS（全自动多操作流程资产）完全兼容，使多个操作自动化。此自动化模型旨在确保多批产品的质量一致,并尽可能提高产量。总体而言，Centura II DPS+是一种先进可靠的等离子体蚀刻反应器，能够对半导体基板进行高精度蚀刻。它具有高度自动化和可调的工艺室，增强的光学和角度气体线，以及闭环控制设备。该系统还与APPLIED MATERIALS FOBOS完全兼容。所有这些使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+成为一系列蚀刻应用的完美解决方桉。