二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #293792207 待售
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ID: 293792207
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Metal etcher, 8"
SNMF Wafer
ESC Chuck
VHP+ Robot
Wide body load lock
STP-1300 Turbo pump
Controller rack
Foreline Valve
ISO Valve
Seriplex gas box
(2) DPS Chambers
(2) ASP Chambers
2001 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS是一种先进、高效的单晶片二极管处理反应器,旨在为高级技术处理提供最佳性能、稳定性和可靠性。反应堆有一个直径510毫米的大活性室,适用于广泛的加工应用,如薄膜沉积、蚀刻和退火。反应性气体输送设备确保精确控制注入腔室的元件的压力和流量,允许使用者调整气体压力、流量和清洗时间等参数。反应堆具有高效射频等离子体源和射频源隔离传感器,可用于控制等离子体的强度和均匀性。此外,AMAT Centura II DPS还配备了一个全面的可编程真空控制器,用于精确控制腔室压力和真空。APPLIED MATERIALS Centura II DPS包括几个功能强大的软件监控工具,如增长率跟踪、统一映射和过程参数控制,以及一个全面的诊断包,使用户可以完全控制系统。此外,Centura II DPS还配备了一个错误处理单元,可以轻松识别和解决机器中的故障,以帮助保持处理操作平稳运行。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS已在严格的条件下进行了严格的测试,并且具有极强的设计以实现最大的可靠性。该工具能效高,需要最少的维护,能够为大批量生产提供卓越的生产效率和效率。此外,即使在最苛刻的加工过程中,反应堆也能提供极好的结果均匀性。综上所述,AMAT Centura II DPS是一种先进、高效的单晶片二极管反应器,具有卓越的可靠性和控制性、优异的结果均匀性以及卓越的能源效率。该反应堆是技术加工应用的理想选择,为大批量生产提供了理想的平台。
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