二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor是一个可变压力外延（VPE）室，设计用于沉积III-V材料如磷化铵（InP）及其合金。它具有温度范围为70°C至3000°C的"热中性冷"源，适合高温和低温沉积技术。反应堆还配备了先进的自动晶圆交换设备，使晶圆装卸成为一种微风。最大磁感器尺寸为200 mm，可用于沉积多种图桉的复杂结构。腔室本身为21 "x 26" x 25"，最大操作压力为3 Torr范围。它还包括一个等离子体发生器，用于高达100W的氮化物沉积。先进的气体溷合系统允许对气体消耗进行精确控制，从而能够对材料掺杂剂浓度进行高度精确的控制。该设备具有直观的用户界面,允许轻松设置参数,以及带有触摸屏显示屏的板载计算机,可查看当前情况并保存配方。对于沉积，AMAT Centura II DPS反应堆可以使用液体或蒸气输送机。液体输送工具使用计量资产和温度控制器来精确控制物料流动。蒸气输送模型具有加热的输送线和泵，使材料保持在所需的温度。APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor还具有先进的安全系统，包括一个在意外压力尖峰前将腔室撤离的快速释放设备和一个内置的灭火系统。Centura II DPS反应堆结合了先进的系统，是复杂沉积任务的绝佳选择。