二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #293697178 待售
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ID: 293697178
System
Orient chamber
VHP Robot
Loadlock type: Widebody
EPD Controller (Hot pack)
(3) eMax Chambers
ENI OEM 28B Generator
STP H1603 Turbo pump
V452 SBC
System controller
Primary / secondary rack
No MFC.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax反应堆是一种先进的半导体加工装置,用于制造高端电子元件。它旨在提高生产产量和缩短周期时间,以提供更高的高性能集成电路吞吐量。AMAT Centura II eMax是一种低温、高通量、低成本的沉积工具。它采用超高速双轴机器人技术,以4至6 MHz的频率精确涂覆材料范围广泛的基板。此外,APPLIED MATERIALS Centura II eMax采用物理气相沉积(PVD)和原子层沉积(ALD)工艺,为设备提供卓越的植入和钝化。反应堆的高通量允许高水平的生产率,同时仍保持均匀的底物覆盖。Centura II eMax反应堆由含有底物晶片的生产室和石英载体构成。其双轴机器人臂设计用于将载波移入和移出沉积区。机器人还包含四个传感器,用于确定晶圆载体的位置。它可以很容易地在各种方向上移动和涂覆晶片,从而产生更高通量的晶片层。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax反应堆使用Elegent Control System (ECS)软件程序来监视、收集数据和控制系统运行。该软件用于设置温度、压力、浓度、基板速度和晶片载荷等参数。ECS还允许用户输入生产过程中各个步骤的配方。这一过程是相当可重复和可靠的,因为反应堆由一块固体石英构成,使其极其耐用,使其能够承受多层沉积材料。此外,AMAT Centura II eMax还具有先进的冷却系统,可帮助保持腔室内的温度一致,从而在晶片上提供均匀的覆盖。APPLIED MATERIALS Centura II eMax反应堆是一种强大的制造工具,用于制造先进的半导体元件。其低温、高通量、机器人加工能力,是提高产量的理想选择。其ECS软件使用户能够精确控制沉积过程,最终提高生产过程的质量和可靠性。
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