二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #9247556 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax反应堆是一种用于薄膜结构小规模生产的下一代沉积工具。设计用于半导体器件的制造和材料分析.该工具具有最先进的工艺室,具有高温和高压功能。它具有高水平的沉积工艺性能，精度和精度可达20纳米。AMAT Centura II eMax配备了自动化的单晶圆和双晶圆（完整晶圆ArF）装载设备。组件晶片快速安装到高性能踏板上。晶片床在转移到沉积室之前旋转并锁定在磁力驱动的边缘法兰上。它具有改进热性能和稳定性的先进的感应悬浮液，以及电子回旋共振等先进的沉积技术。APPLIED MATERIALS Centura II eMax还具有广泛的过程控制系统。这包括控制压力和温度的集成系统，以及内置质谱仪的主动等离子体监测。该单元包括一台用于沉积室壁的多地跟踪监测机，以确保在晶片上均匀沉积。Centura II eMax反应堆包含多种安全特性。它配备了多个安全关闭传感器、自动压力和温度报警器，以及集成的接地系统。它还具有全自动晶片清洗过程,以确保设备性能一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax是用于小规模生产的可靠、经济高效的沉积工具。是半导体器件制造、半导体材料研究、复杂结构薄膜沉积的理想选择。该工具提供了高性能和精确度的工艺优化，以及各种工艺控制选项的精密沉积。