二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9140763 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II是用于制造集成电路（ICs）的大批量制造的半导体基板加工反应器。是原Centura反应堆的进阶版本。AMAT Centura II是一种集群型设备，配有四个独立的负载锁室和两个工艺室。载荷锁用于从反应堆引入和去除底物。载荷锁采用刀刃门阀，在保持工序环境清洁和防止污染的同时，为工序室提供真空隔离。这确保了工艺室内的高度环境控制。工艺室设有负载监测系统，记录所有工艺相关数据，包括每个周期的温度和压力数据。这些数据用于监测和优化反应堆的整体性能。APPLIED MATERIALS CENTURA-II反应器配备了一个可生产氧化硅、氮化硅和许多其他用于IC制造的介电材料的薄膜沉积室。沉积室设有高纯度气体进料单元和均匀淋浴头，可持续高温沉积。APPLIED MATERIALS Centura II还配备了一个用于反应性离子蚀刻（RIE）的蚀刻室，该蚀刻室从工艺室中去除不需要的材料。该腔室配有高速等离子体源和磁场发生器，产生均匀蚀刻。磁场用于提高基板表面的均匀性，提高蚀刻速率和均匀性。腔室还配备了大功率射频源，提供稳定的等离子体均匀性和均匀蚀刻。CENTURA-II反应堆还配备了Novellus专有的非平台清除（OPP）机。OPP工具由一个完全集成的腔室组成，不需要额外的加热传递腔。这种先进的燃气室有集成的气体射流和气体再循环资产，它们共同用于清除燃气室中有害的副产物并减少寄生损失。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-II专为大批量生产而设计,能够在高温和高压下运行,且停机时间最短。它的设计采用先进的控制和诊断系统，使其成为一个高度可靠和成本效益高的底物加工反应堆。