二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761026 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS是为半导体制造工艺设计的一种创新型反应堆。IPS是具有Epsilon 02-3 Fusion™气体输送和集成晶圆加热功能的单晶圆设备，结合精密半导体制造的过程控制和自动化平台。IPS由几个单独的组件组成,这些组件协同工作以实现各种高性能过程。IPS的主要部件是带有400兆瓦射频发电机的封闭式热室，能够快速的温度和压弧。这个热室内部是一个气体输送系统，有专门设计的专有气体入口和出口端口的布置。这也有助于营造高纯度、低电阻的大气环境，使其成为高性能半导体材料加工的理想之选。IPS还具有高性能的Endura IX+动力平台,具有气体注入组合、热线加热和自动光学传感功能。这样可以实现更快的处理速度和更好的过程控制。包括各种精密定位阶段，以促进离子植入的均匀性。IPS由基于PLC的自动化单元驱动,允许对流程进行精细控制,在配方编程方面具有更大的灵活性,并能够实时监控和调整流程。此外，IPS配备了一系列的计量工具，使得监测过程的进展和处理各种校准任务成为可能。除了能够处理各种不同的材料外,AMAT Centura IPS是一款高效、用户友好的机器,其设计符合更高的安全标准。它旨在提高工艺性能和提高产品质量,同时提供无与伦比的精度和准确性。