二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293829876 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS （Integrated Process System, Integrated Process System, Integrated Process System）是一种先进的溅射系统,专为用于半导体制造的薄膜沉积而设计。它是一个完全集成的平台，允许在一次运行中将多层材料同时沉积到基板上。IPS为可靠准确的沉积提供了一个易于使用的平台。IPS最独特的特点是其专利的溅射蚀刻技术。这项技术允许单步完成层沉积和蚀刻清洗，减少生产时间，提高效率。这样可以提高吞吐量并提高产量。此外,IPS还能够创建复杂的分层结构,例如对超低k介电材料至关重要的铜-银-金。IPS还具有多种高级流程控制功能。其闭环射频功率控制（Closed Loop RF Power Control, CLRPC）允许对其每个目标进行精确的功率电平控制和精确的磁场控制，以保持沉积速率、蚀刻速率和电离反应物质形成之间的均等。这样可以减少不受控制的变化,并保持更高级别的产品完整性和可重复性。IPS还提供快速转换功能,以提供配方控制的过程条件,从而显着节省成本和可扩展性。其自动化和统一的配方进一步简化了流程，减少了流程时间和废料产量。IDP驱动器还可以适应多种技术的传输、对准和定位，不需要人工干预。AMAT Centura IPS是用于可靠沉积复杂薄膜结构的多功能工具,具有内置的高级过程控制功能、自动化过程气氛控制以及增强的数据采集和处理能力。IPS可确保快速的设置更改和周期时间,从而提供尽可能平滑的晶圆到晶圆过程控制。这使得它成为半导体制造中超低k电介质和其他组分材料沉积的理想解决方桉。