二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #293595636 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD
ID: 293595636
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
CVD Systems, 8" WxZ Optima process (4) Chambers 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD是一种化学气相沉积(CVD)反应器,设计用于生产用于集成电路制造的重掺杂外延膜。它由控制单元、电源、沉积室和晶圆处理工艺组成。控制单元管理沉积时间、温度、压力、反应物气体等操作参数。它包含一个带有操作员接口和PLC编程的小型微处理器。控制单元还包括测量装置、阀门和一个数据存储系统,用于监测反应堆中的操作。电源提供运行反应堆中各种部件所需的电力。它设计用于提供电压和频率可调的交流电,以保持沉积室中的恒定温度。沉积室是一种压力和惰性的大气控制环境,使受控的化学反应能够发生。封闭是为了防止反应物气体逸出,也保护反应物免受大气变化的影响。晶片处理过程用于制备将放置在沉积室中的晶片。它包括一个将晶片移入腔内并从腔内移出的臂。手臂有定位系统和必要的精确温度控制,以保证沉积的均匀性。AMAT Centura MCVD反应堆具有广泛的特点,使其适合在微电子工业中进行各种过程。它也有很长的使用寿命。它的可靠性、灵活性和易用性使得它成为微电子行业专业人士的首选。
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