二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #9383682 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD是一种化学气相沉积（CVD）反应器，能够产生多种单晶材料。CVD是一种用于将化合物（通常是半导体）薄膜均匀沉积到基板上的工艺。该过程利用气体和热量的组合，在基板表面上产生一层薄薄的材料。AMAT Centura MCVD是一种高性能反应堆。它配备了一个气体歧管、两个感应升降机和一个真空泵。气体歧管提供了一种反应性气体和载流子气体的来源，这些气体被输送到反应室中。两个敏感器升降机用于降低和提升敏感器（一个底物支架）和底物进出反应室。真空泵用于疏散任何不需要的蒸气和颗粒的腔室。反应堆可以与多个沉积源配合使用，允许各种工艺程序。这种反应堆是专门为使用CVD技术而设计的，它提供了对沉积速率和性能的极大控制。根据所沉积材料的类型，这座反应堆可以以高达每小时7.5微米的速度沉积。另外，通过控制气体的流量和感受器的温度，可以调整反应条件，优化材料的结晶结构。APPLIED MATERIALS CENTURA MCVD反应堆的腔室配有石英管，以确保基板周围的气体均匀分布，并配有石英窗口，可用于目视过程监测。管子和窗户还配有自动快门，以确保安全和防止环境污染物的损害。反应堆的设计具有多种安全功能，如门的锁定系统，以防止意外进入，以及在紧急情况下的自动关闭功能。此外，它还配备了气体处理系统，以避免危险物质在室内和室外积聚。Centura MCVD反应堆是一种多功能、高性能的化学气相沉积工艺仪器。凭借其坚固的系统设计,它提供了多种材料的可靠和高效的加工,使制造商能够生产高质量的单晶元件。