二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #201320 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+反应堆是一种先进的等离子体工艺反应堆，用于生产高性能涂层、薄膜和薄膜。MxP+设备结合了通用电源、氮化硅基板和炮塔式低压岛罩。AMAT Centura MxP+反应堆包括可控制的通用电源,可提供高达300 W的功率。这使其使用者能够控制等离子体流量和基板温度，以降低沉积风险。电源被设计为支持低流量电压和多种工艺气体，如氙气、氧气、氮气和氦气，以优化工艺。该系统还包括一个鲁棒控制单元，实时监控每个进程参数。MxP+反应堆有一台重型氮化硅基板持有机，即使在低束缚压力下也能提供出色的横跨晶圆的均匀性。氮化硅基板支架有一个低压岛式掩模炮塔，旨在确保基板保持牢固，不受任何表面损坏。这款炮塔工具用户友好，使用方便，提供了较大的处理灵活性窗口。MxP+反应堆还具有高纯度的石英淋浴室。这个腔室有一个低压环境，有助于维持一个统一的，稳定的过程，广泛的薄膜蚀刻和沉积应用。该反应堆还具有冷却资产和腔室气体分配模型，以确保温度和过程控制的均匀性。MxP+反应堆是一种可靠、用途广泛的等离子体工艺工具，用于许多不同的应用，如薄组成膜、复合半导体膜、多层膜和表面激活的高纵横比堆栈。MxP+具有灵活的电源、均匀的基板支架和先进的工艺控制系统，是先进胶片生产的理想选择。