二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9013552 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP是为广泛的沉积应用而设计的反应堆。它是一种创新的工具,在沉积材料时允许高均匀性、重复性和准确性。AMAT Centura MxP具有用户友好的界面、开放的维护设计以及满足每位客户需求的一系列配置。它具有一系列功能,如PECVD、ALD、MOCVD和电子束蒸发,为用户提供了执行沉积和退火的大量选项。该设备具有可接受多种晶圆直径和厚度的双腔室/晶片装载机,非常适合生产应用。它具有易于使用的触摸屏控制系统,可提高工作效率并减少用户的停机时间。该单元还可以配备可选的群集配置,允许多个用户同时访问多个腔室。应用材料Centura MxP可以达到高达850°C的操作温度,允许各种材料,如石英、氧化铝、赤铁矿和氧化的沉积过程和退火。集成激光烧蚀机使电极材料的烧结和退火高度定位到晶圆。该技术可用于制造薄膜晶体管、传感器和其他场相关设备。为确保运行过程中的稳定性和安全性,反应堆设有若干监测系统,例如用于热监测的红外摄像机和用于监测反应的射频探测工具。反应堆还有一条真空线,在晶圆在腔室之间移动时,保持环境中没有不需要的颗粒。总体而言,Centura MxP反应堆是一种特别通用的工具,用于沉积材料和进行退火。凭借其一系列的功能和技术先进的系统,用户可以确保每批产品都能获得一致的结果。
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