二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+反应堆是一种高通量、单晶圆反应堆，设计用于生产先进的微器件。MxP+设备是一个通用的流程平台,使用户能够开发和利用各种流程。MxP+具有一个大的平床反应器室，在基板表面产生均匀的温度和等离子体分布。MxP+反应堆包含两个过程模块，可以独立使用，也可以组合使用。第一个模块是标准工艺模块（SPM），它允许使用特征良好的沉积技术来沉积薄膜，例如低压化学气相沉积（LPCVD）。第二个模块是高级流程模块（APM）,它为更高级的流程功能提供了扩展功能。APM可用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和原子层沉积（ALD）。MxP+反应堆能够使用多种气体和反应性材料，包括硅烷、氧气和氨。系统与两个进程完全兼容，过程结果可以在两个模块之间传输。这允许用户自定义他们的流程，同时保持高质量的结果。MxP+提供了广泛的安全功能,包括惰性装置、气体排气机、防止氧化工具和温度监测资产。这些特性结合起来，提供了一个安全的操作环境，并防止任何损坏或污染基板。MxP+还采用了精密的监控技术设计。这项技术能够对各种工艺参数进行动态监测和调整，从而能够精确控制沉积速率、沉积均匀性和腔室温度。AMAT Centura MxP+非常适合需要高吞吐量和高质量结果的过程。它是广泛领域的理想选择，从半导体到内存芯片，从LED到太阳能电池。它能够通过各种厚度沉积，可用于制造具有清晰可重复性的纳米级器件，确保一贯高质量的结果。