二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116852 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+反应堆（MxP+）是一种高通量、低成本、低维护、多室化学反应堆。适用于加工多种结晶和无定形材料，包括氧化物、氮化物、多晶硅和碳纳米管薄膜。MxP+Reactor的设计目的是提供显着的工艺改进,包括优化的时间和温度均匀性、更好地控制分箱尺寸以及改进的产品性能。它的高空间和快速循环系统允许对多达1000个晶圆进行单晶圆处理，并通过时间和温度精确控制每个腔室。其创新的全自动设备确保工艺的均匀性在+/-2%以内，即使晶圆从一个腔室移动到另一个腔室。反应堆的多屏桥技术坚固耐用，薄膜厚度范围广泛，提供更高的通量精度。MxP+反应堆的特殊设计使其效率高、性价比高。它采用模块化、即插即用的设计,便于安装和维护。该系统也是全自动的，因此可以在最低限度的工作人员培训下操作。它内置的安全机制，包括温度和压力安全设计，允许平稳和安全的操作。MxP+反应堆快速、准确、可靠，可用于一系列半导体应用。其坚固的设计确保了高生产率和层间的均匀性,并能够快速、准确地处理各种配置中的晶片。单元的腔室通过腔室感测可以测量整个范围的薄膜厚度。此外，MxP+反应堆的气体使用量低，降低了能源成本，减少了运行排放。总体而言，AMAT Centura MxP+Reactor是一种通用且经济实惠的解决方桉，适用于各种半导体加工应用。它提供高通量、精确控制、节约成本、能效和低维护，全部在一台高质量的反应堆机器中。