二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9148385 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura MxP+是一种高性能的平行板易感器反应器，设计用于大批量制造复合半导体晶片。该反应器具有石英上反应室和不锈钢下反应室，具有最高温度均匀性和良好的工艺再现性。允许的最大基板尺寸可达8英寸。MxP+反应堆能够在高达1000 °C的温度下运行。它具有先进的加热设备，在过程运行过程中将晶圆上的热梯度降至最低。上部加热元件由烧结、高稳定性、低辐射钨棒组成。下部加热元件同样由高稳定性钨棒构成，并配有PLC控制的反应性气体喷射器，可精确控制气体流动和组成。MxP+反应器独特的专利设计确保了整个底物的良好温度均匀性和整个表面的均匀反应速率。MxP+反应堆装有精密的基板传输系统，使热变化最小化，增加吞吐量，保持一致的晶圆质量。运输单元由一个机器人臂组成，该臂被编程为以恒定的速度在反应室中移动底物，而自动注射机则允许将反应性气体注入到整个底物的精确位置，以提高沉积均匀性。MxP+反应堆采用先进的物理气相沉积（PVD）工具设计，可同时提供多达5层的重新沉积，减少所需的工艺步骤数量。沉积控制器具有自动调谐能力，进一步提高了工艺的均匀性和准确性，与多种工艺配方兼容。该资产还能够进行CMP（化学机械抛光）以实现沉积层的平面化。MxP+反应堆专为大体积半导体制造应用而设计，提供可靠和可重复的过程，从而产生高产率。这种高度先进的反应堆的特点对于满足当今大批量生产环境的需求，确保产品质量和统一性至关重要。