二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON #9300660 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON反应堆是一个下一代、高通量、外延沉积和蚀刻处理系统,旨在提高生产率和成本节约,同时提高一致性、性能和产量。Centura NLighten采用一种多通式腔室体系结构,既具有加热基板,又具有冷却基板,可以选择为其他应用增加三分之一,从而最大限度地提高腔室利用率。它的温度均匀度± 2°C,同时蚀刻均匀度± 2.5%,这有助于在不同温度下提供比以往更好的工艺稳定性,并有助于保持持续较高的产量。NLighten利用高性能、稳健的同时沉积和蚀刻模块提供最高级别的工艺一致性,最终提高产量和设备性能。配有22英寸或25英寸广角视图和多氢气分布，可用于不同的加工需求，对沉积和蚀刻工艺控制非常精确。其CVD集群组件还具有改进的工艺均匀性，采用了汽油氧化衬里和量身定制的气体分配方法。对于高温应用，反应堆提供了非凡的性能，高温稳定性± 2°C，不需要高纯度氮。这也导致循环时间大大减少。AMAT Centura NLighten NEON反应堆的设计目的是充分利用系统吞吐量,每小时可达到200晶圆（WPH）,使其成为大批量生产的理想工具,具有极低的零件损坏风险。它的占地面积也比以前少得多，最大占地面积为15平方米。应用材料Centura NLighten NEON反应堆是那些寻求高效、经济高效和可靠的实验室反应堆以满足蚀刻和沉积需要的人的绝佳选择。凭借其多用途能力、高温稳定性和处理大批量的能力，反应堆提供了要求最苛刻的加工应用所需要的性能和效率的完美结合。
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