二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Phase II #9281493 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II是一种高效、中等通量的反应堆设备，在制造半导体器件时提供高质量、过程可重复性和生产率。AMAT Centura Phase II专为高级半导体工艺的大批量制造而设计，用于各种应用，如；栅极蚀刻、层间电介质（ILD）沉积、蚀刻止动叠层、氮化物沟槽填充集成、n型扩散屏障层。APPLIED MATERIALS Centura Phase II能够处理各种大体积沉积过程,从而能够生产结构复杂、可重复性和可靠性高的设备。与传统的设备解决方桉相比，反应堆的工艺灵活性使客户能够适应广泛的工艺目标。Centura Phase II配备了获得专利的双盒式负载锁定系统,可减少加载和卸载时间（最低15秒）,真空完整性不受影响。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II进一步配备了多区域温度控制模块,可实现精确的热管理、温度优化和精确的重复性。AMAT Centura Phase II提供了若干附加功能,包括快速回收沉积后蚀刻,可提供非常高的吞吐量和过程效率。此外，其强大的脉冲模式控制能够对薄膜厚度进行精确的实时控制，而不会对制造高质量薄膜的反应参数进行任何重新调整。此外,全自动交付单元结合了十几个与流程相关的参数,可以从主机PC进行远程监控和配置。除此之外,APPLIED MATERIALS Centura Phase II还包括一个坚固的硬件平台,该平台具有均衡的工艺室压力和整体的机器性能,从而提高了腔室清洁温度、循环时间和沉积均匀性。Centura Phase II还支持批处理和紧急工作负载以及延长的操作周期,并减少了停机时间。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II是高容量半导体制造的理想解决方桉,对于生产高质量、可靠、工艺重复性好的器件具有很高的可靠性。该工具提供高吞吐量、低温操作和经济高效的、特定于过程的修改（根据需求）。