二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9244068 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD
已售出
ID: 9244068
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Sputtering system, 8" 1996 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD(物理气相沉积)反应器是一种用于薄膜和涂层沉积的工业工具。设备由真空室、电子束枪、磁场发生器、气体分配系统以及加热和冷却元件组成。AMAT Centura PVD反应器在真空室中运行,以确保沉积过程的质量,这对于薄膜或涂层的制造至关重要。在真空室内部,一种电子束枪,又称光源,用于将电子引导到腔室中心的阴极上。这会使一种称为溅射气体的目标物质的原子或分子产生离子,使它们能够漂移穿过腔室并撞击基板或目标材料。为了保证溅射离子的正确准直,产生一个磁场,用来引导离子从溅射气体向底物方向移动。沉积的薄膜和涂层还需要精确的加热和冷却元件。在过程中,使用气体分配单元,以确保反应堆内多种不同气体的精确扩散。不同类型的薄膜和涂层都使用了各种气体,例如氙气、氧气和氮气。根据需要溅射的薄膜或涂层的性质,还可以使用额外的气体来达到具体的效果。例如,如果需要磨损程度较低的涂层,则使用更大数量的氙气来降低室内的氧气浓度,并有助于纯净均匀的溅射。总体而言,APPLIED MATERIALS/APPLED MATERIALS Centura PVD反应器是一种用途极为广泛的机器,可用于许多不同类型的薄膜和涂层应用。通过优化不同参数,如气体成分、基材温度、基材位置等,可以沉积多种材料,从而产生一系列所需的特性。该工具高效、可靠、经济高效,是各种薄膜和涂层应用的常用解决方桉。
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