二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9188732 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反应堆是为满足半导体工业需求而设计的精密设备。该反应器是专门为蚀刻和沉积薄膜而设计的，是许多不同生产工艺中沉积的有效工具。RTP在半导体工业中的许多应用如栅极氧化物的形成、硅化物的形成、扩散屏障和粘附层沉积、低k电介质沉积、拓扑控制。XE是反应堆的高级版本，融合了改进过程控制等几个高级功能。AMAT Centura RTP XE是一种水平炉型反应器，具有6英寸的光束线。该反应堆有一个分段热区设备，在每个区内提供极好的均匀性和快速循环时间。该炉具有高性能高精度沉积系统，工艺控制能力先进。Centura具有较高的沉积速率和均匀性,并具有出色的热控制和工艺控制。它还具有低压电子回旋共振源，即使在低压下也能实现高水平性能和均匀性，在工艺成本上有显着节省。RTP XE融合了双源能力、超高精度气体处理、先进晶圆处理和监控等先进功能。它提供了一个先进的多区域控制器，内置软件精确的过程控制。有先进的粒子控制功能，提供了优越的和可重复的结果。此外，该单元支持晶片上的电气探测，用于精确的过程监测和控制。该机还支持多种刀具配置,包括密度和成分挑战材料的非氧化加热选项。SPLIED MATERIALS Centura RTP XE是为高蚀刻和低沉积应用而设计的强大可靠的反应器。它能够提供业界所需的速度、准确性和可重复性。其先进的特性和工艺控制能力为寻求提高工艺性能和产量的半导体制造商提供了巨大的价值。