二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9216582 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE （Reactive Thermal Processing）是为高级半导体器件制造中的高性能而设计的反应器。反应堆具有完全自动化的特点，具有用户友好的界面和过程参数，可以快速准确地编程。其功能齐全的环境支持对关键加工参数（如温度、压力和气体组成）进行现场监控。AMAT Centura RTP XE反应堆设计有长寿命的绝缘设备，有助于保持系统内部一致的温度和大气。这为各种应用程序进程提供了可重复和可靠的结果。该室还采用多区加热剖面，以便在反应堆内同时加热多达四个不同的区域。APPLIED MATERIALS Centura RTP XE具有多种腔室尺寸,具体取决于应用程序：最大的腔室尺寸为13英寸。此外，还有可以根据工艺需要选择的衬里材料；选择包括石英、石墨和不锈钢。Centura RTP XE反应堆装有低压和中压丙烷输送装置。这允许可重复的过程时间，因为低压机器提供较高的丙烷速率，而中压工具产生较低的速率。这种双重输送资产有助于在整个反应过程中保持稳定的压力和温度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反应堆设计为在高温和长处理时间的情况下坚固可靠。它既有先进的热控制模型，也有获得专利的大气压力控制技术，有助于确保在整个反应周期中输出一致。它还具有一系列警报和安全功能,可保护设备及其用户免受意外故障的影响。AMAT Centura RTP XE反应堆包括广泛的辅助设备，包括氮气净化设备，以确保在丙烷供应出现故障时替代气体供应，以及质量流量控制器根据需要调整气体流量。它还具有用于均匀散热的变速风扇和用于清除室内灰尘和颗粒等碎屑的快速清洁功能。最后，APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反应堆配备了业界领先的CCDopticTM光学系统。该装置通过提供精确的温度和压力监测以及强大的分析能力，帮助控制反应环境。这使得微调工艺参数以产生一致和高质量的结果成为可能。综上所述，Centura RTP XE反应堆有助于先进的半导体器件制造操作实现高性能和生产率。其可靠和可重复的性质，加上其辅助设备和CCDopticTM光学机器，使其成为许多工业级应用的理想选择。