二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9238004 待售
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ID: 9238004
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
NBLL
(2) XE Chambers
ATM
Missing parts:
Serial isolate BD
OTF Center finder BD
Floppy driver
Hard disk drive
VGA Card
I/O Expansion card
(2) CRT Monitors
LL Door & Mapping kit
M/F Robot upper / Lower motor
OTF Emitter bank
SCR Driver panel cover
6-Wafer lift pins
(2) Edge rings
(2) Support cylinders
(2) Lift pin bellows
Lift pin cap
(2) SEKIDENKO Temperature controllers
Pumping line from chamber to isolation V/V
Chamber rotation vector controller and PCB kit
Loadlock dry pump
(6) Chamber ATM lid clamps
Damaged parts: (3) Color signal towers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE是一种功能丰富的高级反应堆,专为半导体和平板显示器行业的关键工艺应用而设计。XE模型由大气压力、高真空室以及先进的晶圆工艺和温度管理设备组成。此集成系统包含许多功能,旨在优化流程效率和可重复性。反应堆腔室内部容积为50升，由电阻墙材料制成，提供出色的热和辐射热均匀性。反应堆包括双面加热，允许在极高通量作业或需要1000˚C温度的特殊应用中达到2000˚C的均匀工艺温度。XE配备了氮旁路选项，允许用高纯度氮或其他气体快速清除室内大气。它还包括各种各样的过程控制选项,包括压力监测器、过程气体溷合器和气流安全监测器。XE还包括一个先进的晶圆温度管理单元,允许在预热和过程操作期间实现最大的均匀性。温度管理机器确保基板之间的一致性，并在多个过程步骤。XE的过程自动化工具旨在提高吞吐量并保护诸如晶圆边缘排除等主要路径特征。它包含了许多安全功能,例如互锁以防止意外打开、故障警报和闭环PID控制资产。这些特性共同提供了高水平的防辐射保护。AMAT Centura RTP XE是各种半导体和平板显示器应用的理想工具。其先进的晶圆温度管理模型、过程自动化功能和广泛的可选功能相结合,为从事关键操作的人员提供了最佳工具。
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