二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+是半导体晶片低压快速热处理的工具。该反应堆使用快速热循环（RTC）快速启用和禁用晶圆内的设计特征，从而允许创建高性能半导体结构。XE+型是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）系统，旨在使用户能够使用比早期反应堆更小的特征尺寸创建复杂的设计。XE+反应堆使用超高纯度C2-F6-PF6气体，不仅可以准确地创建特征，而且可以在多个运行过程中创建均匀性。反应堆水平安装的热源和超高质量的气体输送，加上集成的温度控制系统，使其达到了前所未有的精度、重复性和速度水平。这是通过石英加热的温度区可以保持精确的温度高达1000 °C，以及将晶片和石英抽屉沿水平方向移动的索引阶段来实现循环时温度的更大均匀性。这种快速而精确的加热和冷却可以进行次秒的热循环，从而实现低热预算处理。在操作方面，XE+可以一次处理多达两个125毫米晶片，并且完全自动化，设计者可以控制反应堆内的所有参数。XE+还具有精确定时控制、惰性气体净化、自动端点检测等功能，进一步提高了工艺精度和速度。此外,XE+还配备了一个安全系统,该系统仅在关闭和锁定后部捕获门时才启用。总而言之，AMAT Centura RTP XE+是在半导体晶片上进行快速热处理的不可思议的工具。其强大的设计、精确的控制和自动化的功能,使其成为真正的改变游戏规则的产品,以创建高性能的半导体设计。
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