二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP #9238454 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP（快速热处理）设备是一种先进的、高度自动化的反应器，设计用于处理半导体晶片。这个最先进的系统能够在精确的温度范围内快速加热和冷却晶片。它为各种独特的加工应用提供了必要的速度和精度，从退火和氧化到氮化物层的快速热生长。该单元可用于制备用于光刻涂层、蚀刻、离子注入和其他微电子过程的晶片。AMAT Centura RTP具有基于机器人运动控制的自动晶圆处理机和获得专利的晶圆传输技术。这提供了每个晶片在反应堆腔内的精确定位。整个工具设计得极其可靠，具有集成的反馈和监测系统，以确保准确校准温度和压力。APPLIED MATERIALS Centura RTP的反应堆室由一系列钢、钛、陶瓷、铝等同心层构成。它由300W卤素红外加热器提供动力，用于快速热处理。这个加热器可以在几分钟内将反应室的温度提高到1000 °C。资产还配备了冷却模型，快速准确地降低温度。Centura RTP通过基于Pascal编程语言的计算机接口运行。这允许对反应室参数进行精确和可重复的控制。用户还可以创建用户定义的进程以满足其应用程序的特定需求。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP提供了一种极其可靠和高效的晶圆加工方法。其高度自动化的设备、高效的热处理能力以及强大的计算机界面，使其成为各种半导体处理应用的有效选择。