二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SA CVD #293767652 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD（大气压力化学气相沉积）反应器是一种用途广泛、可靠的工具，能够执行各种任务，包括低压和高压化学气相沉积（CVD）。它被设计用来处理多种底物，包括硅、砷化的、多晶硅和金属，以及诸如硼硅酸盐、蓝宝石和氮氧化物等电介质。这种反应堆的多功能性也使得在不同温度下处理一些不同的材料成为可能，从而允许更大的灵活性。在设计方面，AMAT Centura SA CVD反应堆采用了一种加热体积大的APCVD熔炉，为一致可靠的高精度沉积提供了环境。独立的APCVD crucible由石墨材料加热器加热，由0至13 V脉宽调制（PWM）信号在高达100 kHz的范围内供电。该加热器有一个可调的设定点温度控制设备，以维持用户规定的所需温度条件。此外，APCVD坩埚配有一个可独立调节的温度传感器，可用于监测沉积过程中的热性能。APCVD crucible还设有一个内部喷射器，以提供反应物和载气向工艺室的持续流动。为了允许沉积参数的精确控制，APPLIED MATERIALS Centura SA CVD反应堆还配备了可调导热调节系统。该单元允许调整反应室大气的对流和传导效应，从而可以更好地控制高度工程材料的沉积。Centura SA CVD反应堆还配备了高精度阻抗测量机，以确保精确测量腔室的电子密度和电导率。这样可以更好地控制沉积参数，并为准确测量沉积厚度和均匀性提供必要的基础。此外，反应堆还配备了自动表面清洗工具，以确保准确、均匀的沉积。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD反应堆是各种沉积应用的绝佳工具。该反应堆用途广泛、可靠，具有许多重要特点，可确保准确、一致和可重复的沉积过程。