二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SiNgen #293748907 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SiNgen是一种硅基蚀刻设备,主要用于半导体加工。它是一个高性能的硅蚀刻反应器,具有多种特性,包括紧密的蚀刻轮廓、高端性能以及用于掩蔽、成像和沉积材料的先进技术。AMAT Centura SiNgen基于双腔室设计,提供等离子体蚀刻和化学蚀刻功能。双室设计有助于保证最佳蚀刻均匀性,完美的蚀刻选择性,出色的蚀刻深度控制。多晶硅蚀刻在系统的上腔上完成,也可用于蚀刻无定形硅或氮化硅。SiNgen利用精密的离子束控制,实现了快速蚀刻和优异的重复性。APPLIED MATERIALS Centura SiNgen还采用独特的高级蚀刻技术构建,称为"Multi-LevelProcessing",它允许广泛的蚀刻过程。这项技术能够使用一个可以以有效和可靠的方式生成多个蚀刻级别的工艺来蚀刻不同的级别。这一特性允许多层次结构的蚀刻,使高度复杂的半导体晶圆设计成为可能。Centura SiNgen的蚀刻对齐单元也是先进的,允许用户将蚀刻图样精确对齐其晶圆上的定位层。这种对齐方式增强了未来应用的光固化,并允许半导体晶圆设计的重复性最大化。SiNgen还具有先进的低温蚀刻能力,减少排便,增加低温工艺稳定性。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SiNgen是一种先进可靠的半导体加工蚀刻机。它具有紧密的蚀刻轮廓、高端性能、双腔室设计以及先进的掩蔽和成像技术,所有这些结合在一起为可靠的半导体蚀刻创造了最佳环境。它配备了独特的技术,如多级处理和蚀刻对齐工具,使其成为可靠和先进的资产。
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