二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9191047 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E
已售出
ID: 9191047
晶圆大小: 6"
Etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-E是一种先进的400 mm半导体晶圆加工反应器,旨在为生产微电子器件提供高产率。该反应堆是与世界领先的半导体制造商和领先的大学合作开发的,以满足对日益密集和可靠的集成电路的不懈需求。该反应器采用最先进的工艺,具有极高的蚀刻均匀性、较低的缺陷计数和较小的空隙,可提高耐腐蚀性。AMAT Centura Super-E是一个全自动反应堆,能够同时处理多达四个晶圆。它的先进工艺考虑到最严格的要求,包括但不限于:化学机械抛光(CMP)、反应性离子蚀刻(RIE)和深紫外光刻(DUV)。多合一反应堆配备了合格模板蚀刻(CTE)和精密掩模注册(PMR)等技术,使先进的、现场可编程的栅极阵列(FPGA)得以生产。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA SUPER E反应堆利用AMAT专有的AMVantageTM软件平台。此第三代软件套件使用户能够开发生产级别的配方和定制流程,同时提供自动化的可视化流程控制和快速流程分析功能。反应堆还包括Cluster Tool配置,允许用户将Centura连接到其他APPLIED MATERIALS处理工具系统,用于高级蚀刻操作。AMAT CENTURA SUPER E也是出于安全考虑而打造的。其集成的溢出控制系统和排气鼓风机提供了更大程度的保护,免受空气和液体污染物的污染,同时卓越的降噪功能将噪音保持在最低限度。板载显示器允许对Centura的运行状态进行远程过程控制和监视。总体而言,Centura Super-E旨在提供快速、可靠、精确的半导体晶圆处理。其先进的自动化和弹性设计使其成为生产高产先进微电子器件的理想选择。
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