二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317 待售
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ID: 9252317
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Etcher, 8"
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Cassette interface:
(2) Narrow body load locks
Fast wafer mapping
Main tool:
Wafer handling robot
Signal lamp tower
Buffer lid open / Close assembly (Manual)
Wafer on blade sensor
Optical endpoint system
Chambers:
Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide
Ch-E: Blank
Ch-F: Orienter
Chamber configuration:
EBARA 305W Turbo controller
EBARA ET300WS Turbo pump
Chamber: P/N 0010-39736 REV A
Electrostatic chuck
HERF Match
Slit liner door
Autobias
Chamber liner
Cathode
Gas box / Gas pallet:
Standard gas panel interface
MFCs: AERA FC-D980C
CO 300 SCCM
C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C)
N2 20 SCCM
O2 100 SCCM
CF4 100 SCCM
CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A)
ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS)
Gas connection
User interfaces:
Front side monitor and light pen base
System side monitor and light pen base
System controller:
Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D)
Chillers included:
B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel
ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel
Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-E是一种反应设备，结合了优越的温度和过程控制以及精密的设计，以达到最大效率和可靠性。该反应堆采用闭环再循环系统，在容器内保持一致的温度，同时提供均匀且可重复的结果。加热器单元由石英制成，比其他材料耐用和效率高三倍。这种石英加热器是电子调谐和提供精确的，平坦的温度控制范围广泛的设定点。加热器工具通过密集的隔热和再循环的热传输介质进一步增强，以减少热量损失。该工艺室的设计使准确的反应物体积得以处理，确保了一致和可重复的结果。盖子由高纯度石英制成，设计具有独特的工艺隔离能力，最大限度地减少了工艺气体与环境的接触。该工艺室还包含一个高效气体洗涤器，该洗涤器从工艺室中去除腐蚀性和危险副产物。标准安装包括一套全面的监测和安全功能，以监测室内的环境状况。这包括实时监测工艺化学品、压力和温度，以提高工艺安全性。资产还包括一个专门的警告模型，提醒操作员注意潜在的流程问题，帮助防止潜在的灾难性事件。AMAT Centura Super-E包括自动化的过程控制软件,可实现无缝、准确的过程控制。该软件允许自动校准过程和产品参数,以提高效率和过程可靠性。这种用途广泛且耐用的反应堆有一系列尺寸和配置，以满足任何生产需求。该设备的设计目的是在最短的时间内提供可重复的结果，而且所需的维护最少。这种优越的生产反应堆非常适合复杂和苛刻的生产环境。
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