二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ #9117584 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ是一种多晶圆处理设备,可为各种高级增长过程提供灵活性和可扩展性。它是为复合半导体、光伏和光电材料的应用而设计的低压射频溅射系统。AMAT Centura Tectra TxZ提供先进的基材输送,具有晶圆链接功能,每项任务最多可提供10个晶圆,自动光刻工艺,以及用于增强材料成分控制的各种工艺参数。它是一个高效、多合一的基材输送和多晶圆沉积单元,重点是提高工艺灵活性和可扩展性。APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ配备了两个晶圆提升机器人、负载锁、高真空密封系统和射频电源。它还提供了精确校准工艺气体和射频功率水平的能力，以实现最佳的基板预处理、沉积速率和层均匀性。它旨在消除晶片对晶片的干扰,同时即使在大型晶片阵列上也能提供高水平的过程重复性。该机器有全面的流程控制功能支持，包括实时流程监控。Centura Tectra TxZ还提供了广泛的过程数据,以提高分析研究和数据分析能力。这些数据包括沉积速率、沉积厚度、增长率、温度梯度等细节。其先进的加热器工具允许晶片上的温度高达500 °C，以进行工艺优化，并大幅减少生产时间和成本。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ也满足广泛的清洁和安全要求，包括美国FDA制定的标准。Automated Materials Lift （AML）提供精确的晶圆到晶圆周转,而晶圆链资产则优化晶圆定位和吞吐量,以实现最大效率。AMAT Centura Tectra TxZ旨在补充浅沟隔离（STI）、低温氧化物（LTO）、T-Structure、射频（RF）等先进工艺，以满足半导体和光电行业的需求。