二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #293675757 待售
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ID: 293675757
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
MCVD System, 8"
Load lock: A, B
HE (Heat Exchanger): Steel head
HP+ Robot
Wide body
SMIF
Chambers:
Chamber A: Ti (Ti-xZ)
Chamber B: TiN (TiN-xZ）
Chamber D: RPC+
Chamber E: 8 Slot cooldown
Chamber F: Orienter
Buff
Gases:
Chamber A: N2, H2, Ar, Cl2, Ar (Cl2 diluted), Ar (bottom purge), Ticl4
Chamber B: N2, NH3, Ar, Cl2, N2 (Cl2 dilution), Ar (bottom purge), Ticl4-L, Ticl4-H
Chamber D: H2, He, Ar, NF3
Dry pumps:
EBARA AA70W Chamber A
KASHIYAMA SD600PV-31 Chamber B
EBARA AA70W Chamber D
EBARA AA40W Buff
EBARA AA40W Load lock
Gas scrubber:
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber A
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber B
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber D
SYSCON Rack
Gen rack
Monitor rack
Chiller
Regulator box
Gas supply unit
HOT N₂ Controller
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra是一个高度先进、用途广泛的反应堆，旨在满足各行业的需求。反应堆是专门为方便材料沉积而设计的，用于薄膜沉积、表面改性反应物等多种任务。它由超高密度石墨制成，使其具有优异的热电性能。该反应堆的特点是提供精确温度和流量控制的真空热处理设备、围绕工艺室的气体循环以及能够为反应物沉积创造高真空压力的额外泵送系统。反应堆还包括一个先进的加热单元、一个冷却机和一个可以调节过程温度和流量的控制工具。此外，反应堆还配备了一种特殊的电容式匹配方法，用于精确测量工艺室内的液位。为了提高性能，反应堆配有电能源、机械支架、进料器、反应物输送资产的附件以及排气模型等全方位配件。AMAT Centura Tectra反应堆还配备了防爆外壳、超压保护阀、预警系统等全方位安全功能。其先进的控制设备确保了平稳可靠的运行，即使在极端的运行条件下也是如此。应用材料Centura Tectra是任何需要高性能反应堆的项目的有效解决方桉。其先进的设计和功能有助于确保可靠的运行、精确的温度控制以及改进的安全和性能标准。Centura Tectra是任何涉及材料薄膜沉积或表面改性的工艺的绝佳选择。
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