二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #9086223 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra反应堆是一种高度先进的蚀刻团簇工具，用于等离子体处理。它旨在为各种行业的蚀刻和沉积应用提供准确和一致的过程控制。该反应堆是研发、大批量生产的理想选择，性能优越，运行成本低。AMAT Centura Tectra反应堆配备了一套先进的特性，使其能够利用最新的蚀刻和沉积技术，包括Centura 3D蚀刻和沉积头。这种磁头是专门为了能够使用高温和高压等离子体处理，允许对蚀刻和沉积过程的出色控制。头部还具有坚固的结构，使其能够处理极端温度和高压。反应堆还配备了两个分别专用于蚀刻和沉积应用的主泵。两者均由高性能电机驱动，确保其提供平稳高效的运行。主泵辅以几个额外的泵，包括一个高压低压泵和一个用于控制反应堆内部压力的真空泵。此外，APPLIED MATERIALS Centura Tectra反应堆具有先进的控制器，可以方便地操作和控制蚀刻和沉积过程。该控制器可用于修改反应堆内的温度、压力、流量、电压和总功率输入。控制器还允许用户调整进行蚀刻和沉积的时间范围。Centura Tectra反应堆还装有离子源模块，可用于在蚀刻和沉积过程中生成额外的离子。此模块中的高级电源控制系统可确保离子均匀分布,从而形成均匀的蚀刻深度和沉积模式。离子源模块还配备了几个过滤器，设计用于过滤掉任何有害气体或离子，并减少蚀刻和沉积操作过程中的任何污染。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra反应堆是一种先进的蚀刻集群工具，能够对蚀刻和沉积过程提供高性能和出色的控制。凭借坚固的构造、强大的电机、先进的控制器，是研发、大批量生产的理想选择。