二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9183978 待售

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ID: 9183978
优质的: 2014
CVD system (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP反应堆是业界领先的先进沉积设备,专门为在半导体制造过程中部署高质量的先进材料而设计。该反应堆能够以卓越的精度和性能沉积复杂的材料堆栈,提供增强的工艺控制,并能够制造最先进的纳米装置。AMAT Centura Ultima HDP采用模块化设计,具有扩展的组件范围,可提供灵活、可扩展的解决方桉来满足现代生产需求。它能够实现多种沉积技术,包括有机金属化学气相沉积(OMCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PE-CVD)技术。APPLED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP设计具有最高的均匀性,能够产生最佳的层沉积,而不会产生任何死点或阴影。为保证沉积性能,系统配备了多辩证石英腔、可调晶片座、大容量涡轮泵和气体输送单元。其自动化的压力和气流控制机,使材料的精确控制,可重复的过程结果,和卓越的精度。Centura Ultima HDP还采用了创新的温度控制工具,对晶圆的温度进行精确的监控和调节,从而提高了温度的均匀性,精确且可重现的结果,增加了节省的时间,更好的工艺产量。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP还能够提供更快的增长速度、比许多其他沉积系统更快的周期时间,并且还提供高吞吐量。这样可以减少设备的生产、更高的精度层和减少材料损失。其先进的工艺控制选项包括晶圆夹紧、底板温度和偏置监控、复用,进一步提高了能力。AMAT CENTURA ULTIMA+HDP是将技术扩展到亚微米和纳米级的理想选择,是各种先进材料和应用的理想选择。由于其准确性和可靠性,它是先进半导体制造工艺的理想解决方桉,有助于确保以最高效率生产出最优质的产品。
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