二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9206450 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP是一种下一代高密度等离子体（HDP）反应器，设计用于先进的半导体制造。该反应堆能够处理高质量晶片，污染风险最小，拥有成本低。它结合了创新的设计、先进的技术和高精度，实现了一流的等离子体性能。Centura Ultima的HDP平台采用了多种腔室配置和工艺技术。这些包括反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体（ICP）和高密度等离子体（HDP）过程。HDP工艺利用两种独立的能源，其中一种是高密度等离子体能源，可以达到超过10,000 ℃的温度。其他来源是通用电源，用于各种大气过程，如灰烬和等离子体清洗。为确保掺杂水平一致，AMAT Centura Ultima HDP采用了先进的深紫外线照明设备。这种深紫外线系统减少了掺杂水平的变化，增强了掺杂轮廓的可重复性。此外，Ultima HDP反应堆可以在高达7 Torr的扩展压力范围内运行，这允许处理氧化物介电层。HDP反应堆采用多种现场监测系统，对参数控制提供实时反馈。这种实时控制允许快速优化过程参数,从而确保最高的生产率。该装置还装有一个高灵敏度的洁净室传感器，利用低海岸化学检测机检测任何粒子或气体的存在。Ultima HDP反应堆设计效率最高。配备了用于工艺真空的集成高效涡轮泵、多种工艺和洁净室监控系统，以及强大的电机驱动单元。此外,该工具还配备了一个集成的冷却和加热设备,可在宽温度范围内运行,而不会影响性能。总之，应用材料CENTURA ULTIMA+HDP反应堆是一种先进且经济高效的等离子体处理模型，能够提供市场上所有HDP反应堆的最高性能。它能够产生高质量的结果，污染风险最小，拥有成本低。此外，该反应堆的设计效率最高，并配备了最先进的监测系统和强大的电动机驱动器。该反应堆非常适合任何希望将其生产能力提升到一个新的水平的半导体制造设施。