二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9221312 待售
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ID: 9221312
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
CVD System, 8"
NBLL
(3) Chambers
STP-A2203 Turbo molecular pump
ENI RF Generator
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP是业界领先的高密度等离子体(HDP)反应堆。这种反应堆设备对于那些对加工和制造具有严格可重复性的各种材料和基材感兴趣的人来说是一个极好的设备选择。它的自动化功能和用户友好的界面使其成为任何工艺规模的理想解决方桉。与市场上的其他HDP反应堆相比,AMAT Centura Ultima HDP具有独特的功能组合。它提供10 Torr的最大压力和60 kHz的射频电源,允许广泛的工艺条件。为最大限度地提高等离子体均匀性和材料均匀性而设计的APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP还具有双压力歧管,允许分离工艺气体。这样可以随时实现最佳控制和安全。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP能够容纳6英寸和8英寸晶圆以及4英寸晶圆,具体取决于配置和应用。这个反应堆系统还提供了各种各样的硬件和软件选项。利用先进的Focus Magnet和Target Jet,可以提供精确的过程控制和优化的等离子体分布。它还配备了嵌入式PC,允许实时分析、报告和控制。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP与任何工艺气体的大气层相容,包括超高纯度、氦气和氙气。其自动化功能、用户友好的界面以及各种硬件和软件选项使其成为最通用的HDP反应堆解决方桉之一。该单元通过其精确的Focus Magnet和Target Jet提供了先进的工艺控制水平,允许对等离子体分布进行精确优化,以适应广泛的工艺参数。总之,CENTURA ULTIMA+HDP是一种行业领先的高密度等离子体反应堆机器,能够加工和制造各种材料和基材,具有严格的重复性。其自动化功能、双压力歧管和用户友好界面为用户提供任何工艺尺寸的最佳安全和控制。该工具可配置用于各种硬件和软件选项,并且与任何工艺气体大气兼容。利用先进的Focus Magnet和Target Jet,可以提供精确的工艺控制和优化的等离子体分布,从而实现工艺参数的精确优化。
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