二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9065273 待售
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已售出
ID: 9065273
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Etcher, 8"
(3) Chambers
Flat type
Door interlock sensor
Dome heater cooling type: yes
Ceramic ESC: WTM
Top mount remote plasma: Yes
Local match box: Yes
Heat exchanger: SMC
Dual IHC Control: Yes
Centura1 Ph 2
Wide L/L
Wafer map sensor
Wafer sliding sensor
Cool chamber slot: 8-slot
HP Extend robot: One arm
Cabinet exhaust: Top
Single line drop: Yes
Gas line feed: Top
Monitor, third: Station
SMC Chiller
Leybold Mac 2000 TMP
Alcatel ATH2300
ENI generator
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一种化学气相沉积(CVD)反应器,为最佳温度、压力和气体均匀性而设计。这种最先进的CVD反应堆的设计目的是在各种沉积过程中提供高精度性能。AMAT Centura Ultima Plus反应堆拥有先进的热控制设备,具有两个独立的温度区,用于最优反应物均匀性和过程控制。该反应堆采用多种均匀、直接的热处理工艺,确保了可靠、高精度的性能。此外,工艺室从两侧加热,加速加热和冷却速率,以确保沉积环境的均匀性。反应堆还采用了先进的静电充电系统,也可用于控制沉积过程中产生的粒子的速率和数量。这一过程与高效的集群工具设计相结合,允许以最高的效率进行高质量的沉积。此外,APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus反应堆配备了双传感器温度控制单元,为不同气体和反应物提供精确的温度控制。该机器设计为在整个基板上提供高度精确和可重复的温度剖面,确保沉积过程的均匀性和准确性。Centura Ultima Plus还具有多区域气体控制功能,允许精确的气流控制以优化沉积过程。这一设计特点确保反应物保持其推荐的反应物纯度,确保可靠和高效的沉积过程。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Ultima Plus的工艺室尺寸可达2000cc,可实现最大效率和最佳体积。其石英反应器管和不锈钢工艺室壁设计耐用,在工艺过程中提供最高温度控制和最佳膜质量。这些特性使得AMAT Centura Ultima Plus成为一个高效可靠的反应堆,用于各种沉积过程。
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