二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9070889 待售

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ID: 9070889
晶圆大小: 8"
HDP Chamber, 8" DCVD Centura 1.x Currently still attached to tool RF Generator racks are still connected to tool and chambers SMC heat exchanger is disconnected but still in facility area Includes: Gas pallet Gas lines Chamber interconnects Chamber umbilicals and HX ETO rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一种革命性的先进沉积工具,用于半导体制造过程。为实现最佳的效率和性能而设计的这种工具可以在原子水平上产生各种各样的装置和结构。AMAT Centura Ultima Plus配备了双光束源,可提供出色的薄膜沉积均匀性,同时实现出色的步长覆盖、产品可靠性和最终产品的可靠性。此外,该工具采用了PureFilm Process Control (PPPC)设备和超精密沉积控制技术,提供了卓越的AMAT均匀性。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus由先进的RockCliff™平台提供动力,这是一个独特的多级离散沉积系统。该工具利用多个自动化步骤在大面积生产均匀准确的薄膜。这些自动化步骤包括在每一步点对目标物种进行特定的同时再循环,从而确保均匀的通量和均匀的薄膜覆盖。Centura Ultima Plus还具有一个过程控制单元(PCS),用于管理沉积过程的多个步骤。PCS提供对流程变量和参数的恒定监控,以确保最佳流程执行。该机允许对工艺参数进行完全调整和控制,以实现特定沉积工艺的最佳性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus配备了纳米加工热源,可使温度达到1000 °C。这种高温是获得最佳步长覆盖和均匀性所必需的。此外,AMAT Centura Ultima Plus还配备了高精度机械臂,用于精确控制工具内晶片的运动,以确保均匀覆盖和可靠薄膜。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus旨在满足沉积过程的苛刻要求。其先进的双光束源和高精度机械臂控制,在提供高通量的同时,实现了卓越的性能和可靠性。该工具是先进半导体制造工艺的绝佳解决方桉,能够生产高质量的薄膜和出色的阶梯覆盖。
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