二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9159573 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，旨在实现卓越的工艺性能和精度。AMAT Centura Ultima Plus提供了广泛的可配置腔室组件和附加的工艺工具,包括直观的软件界面,以满足现代生产需求。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus的腔室体积大,能够同时处理300毫米（12英寸）以上的多个晶圆。此外，其创新的温度控制设备在整个腔室1.0摄氏度±内提供高度均匀的温度结果。CenturaUltimaPlus配备了等离子体源配置，该配置优化了整个腔室的均匀性、均匀性和具有反应性气体的均匀膜生长。它采用专有的电子回旋共振（ECR）技术及其业界领先的调制控制技术,以实现卓越的等离子体控制和优化的粒子生成。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Ultima Plus的电源调制功能可在各种工艺条件和应用中实现更高的可调性和过程控制。AMAT Centura Ultima Plus除了具有等离子体源配置和调制控制外，还能够利用超低污染表面处理。一个专有的高密度等离子体源集成到系统中，以实现优越的表面处理和蚀刻。此功能可确保基板上的污染水平极低,从而提高工艺质量和产品的长期可靠性。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus的其他功能包括先进的冷却装置和温度管理,以及降低的腔室工作温度（低至40 °C）。此外,Centura Ultima Plus包括可配置的晶圆处理机和集成的机器人装载机系统,可最大程度地减少手动加载时间。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus强大且可配置的自动化功能使批量生产成为可能。最后，AMAT Centura Ultima Plus是生产先进电子元件的先进PECVD反应器。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus具有直观的软件界面和创新的可配置腔室组件,可实现最精确和最具挑战性的过程。强大的工艺控制解决方桉、低污染水平和较大的腔室体积相结合,使Centura Ultima Plus成为满足各种生产需求的理想选择。