二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #100131 待售

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ID: 100131
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
CVD HDP system, 8" (3) Ultima X HDP chambers 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X是先进的半导体应用特定沉积工具。这座多车道、下一代反应堆的设计符合先进技术节点和关键应用的要求。沉积设备提供先进、高精度的薄膜质量,可精确控制和重复处理过程。AMAT Centura Ultima X提供多室设计,每个室都有独立配置的过程控制。它允许用户选择适当的沉积过程参数。该系统配备了高速、多区的射频发电机,提供了前所未有的灵活性和减少的薄膜失真。Ultima X可以提供广泛的热处理功能,包括快速热处理和退火处理。该单元进一步配备了先进的运动控制和过程监控套件,以获得最佳影片性能,即使对于最复杂的影片也是如此。它包括对机器性能参数的全面监控;温度和压力,以及各种加工气体。Ultima X利用气体传感器、质量流量控制器和热电偶等各种传感器和监控器之间的协作方法,确保沉积过程中的最高控制水平和质量。UltimaX附带了先进的过程控制软件,用于沉积过程和参数的精确控制,以及监控和报警管理。此软件旨在保证在整个生产过程中具有高水平的可重复性能。此外,该软件还配备了一整套统计过程控制工具。这允许用户在沉积过程中以图形方式查看条件如何变化,从而可以轻松进行调整以优化胶片和设备性能。该工具旨在提供低成本、高质量的薄膜和组件,并具有最高质量控制、可预测性和可重复性。利用APPLIED MATERIALS Centura Ultima X,通过资源和技术的最终结合,确保了具有质量控制的高级效率和精确的过程控制。UltimaX是确保沉积过程始终优化以提高效率和质量的有效工具。
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