二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9195501 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X反应堆是一种先进的锡和硅化物CVD（化学气相沉积）系统，设计用于半导体器件制造工艺的先进材料和结构的实现。Ultima X提高了精度、CVD功能和过程灵活性,以确保制造过程可靠可靠。Ultima X采用双端口架构,用于引入双源/腔室材料。这样可以加快加工时间,因为两个基板可以同时处理。此外，双激光蚀刻淋浴头可更好地将反应物气体分布在基板上，而不会对工艺造成任何干扰。UltimaX的精密温度控制和高灵敏度压力传感器保证了卓越的工艺精度和重复性。这增加了产量和一致性，因为控制压力和温度对于在CVD过程中获得最佳结果至关重要。Ultima X的高级软件套件提供了对过程各个方面的全面控制，包括气体配方、腔室操作和自动校准。这允许用户实时分析配方，监控关键流程参数，实时调整流程参数以优化流程条件。Ultima X的自动化功能允许极低的维护操作。维修作业仅限于常规清洗配管、毛细管、气体歧管和光学端口。该系统可以完全自动化,这意味着它可以一次无人值守地运行数小时到数天,从而提高效率。为了保证工艺的稳定性，Ultima X提供了一种可调节的旁路特性，减少了工艺室内的压力和温度变化。旁路还有助于防止电源波动，从而提高准确性和可重复性。Ultima X中使用的所有组件都是高质量的,并为长期性能而设计。为实现最大均匀性和蒸发碎屑控制而形成的高级石英工艺室具有优异的性能。此外，电源和仪器设计为消除干扰、降低功率噪声、提高产品质量。APPLIED MATERIALS/AMAT Centura Ultima X是为半导体工业实现先进材料和结构的可靠、先进的CVD工具。它提供了卓越的准确性、CVD功能和过程灵活性,同时还提供了自动化和低维护操作。