二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9200053 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X是一种高性能、灵活、经济实惠的蚀刻反应器，专为各种半导体制造工艺而设计。该反应堆提供了蚀刻温度低、蚀刻速率高的优点，以及高温稳定性和可重复性。Ultima X的设计是为了满足大批量生产的需要，其环保设计和先进的设备部件。Ultima X具有三区加热室，带有加热盖，设计用于工艺温度和气泡点的均匀性。反应性气体处理系统可确保关键气体部件的精确输送,而先进的远程诊断模块可实现远程监控。此外,Ultima X还采用精确的Despense计量技术,可实现精确的气流控制,从而最大限度地减少蚀刻过程。Ultima X利用了一系列蚀刻策略，包括蚀刻释放，它提供了更高的选择性和更好的过程控制。反应堆采用模块化设计，便于维护和重新配置，与传统蚀刻工具相比具有更大的灵活性。此外，反应堆设计用于极低的停机时间和维护，其集成的安全特性和过程验证工具。此外,Ultima X还提供了一系列好处,如减少停机时间、提高吞吐量和改进批处理过程控制。综合监测单元提供增强的过程控制和实时诊断，而辅助软件模块确保准确性、一致性和可重复性。该反应堆还使用AMAT专有的Process IQ软件,该软件可实现批处理和高级过程控制。最后，AMAT Centura Ultima X是为大批量生产而设计的先进蚀刻反应堆。反应堆提供了一系列的好处，包括低蚀刻温度、高蚀刻速率、高温稳定性和精确的气流控制。此外,它还具有集成的监控机器、辅助软件模块和过程智商软件.