二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X反应堆是半导体工业中用于化学气相沉积（CVD）过程和其他先进化学过程的专门工具。AMAT Centura Ultima X具有Pro- Liner™技术等专有功能,采用先进的软件算法,实现了可重复和统一的沉积。通过Pro- Liner™特性实现了最大的沉积效率，确保了整个腔室的精确轨迹和均匀的压力剖面。Ultima X还利用了工艺源与腔室之间独特设计的次大气压差，提高了工艺效率和均匀性。直观的7英寸前显示器和图形用户界面提供了进程参数和腔室压力的实时反馈，而多任务功能则允许用户同时运行多个进程。APPLIED MATERIALS Centura Ultima X提供四个独立的热区域，允许用户执行腔室调节、元件/工具验证、化学放大器和多重处理。所有四个区域的热范围都比正常范围宽，在处理温度和工艺化学变化的晶片时允许更高的准确性和可重复性。Ultima X配备了精确的温度控制设备，能够精确控制0.5°C范围内的温度。此外，反应堆提供高度精确的流量控制，这有助于确保过程化学的准确剂量。Centura Ultima X提供了卓越的规格，如工艺室直径64.5英寸，工艺室深度23.3英寸，最高工艺温度800 °C，最大工艺压力10托。动力系统由两块6kW磁体组成，可以快速加热和冷却工艺室。此外，反应堆的最大气体流量为12000升/分钟，最大BTU/小时为2.475。Ultima X是为最大的安全性而设计的,其特点是具有清洁室循环模式,该模式可监视过程条件并自动清除腔室中的任何残留过程/化学物质,以及用于监视压力、温度和气体流动的警报单元。反应堆包括各种内置的安全特性，以及一个自动联锁机器，防止用户在危险过程过程中进入腔室。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X非常适合CVD和其他高级化学工艺,提供卓越的工艺效率、可重复性和均匀性。其直观的图形用户界面使其用户友好,而其高级功能则提供了最大的安全性和精确度。AMAT Centura Ultima X具有高效的散热范围和精确的流量/温度控制,可提供卓越的工艺效果。