二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9078243 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Reactor是一种用于半导体加工的最先进的先进沉积设备。这种设备使用户能够加工各种薄膜材料，包括电介质、金属和有机物。反应堆能够提供广泛的工艺条件，包括温度高达1400 °C，压力高达2 bar，流量高达5000 sccm的反应性气体。反应堆设有高流量气体喷射系统、多路复用气体传感器单元和闭环等离子体功率控制机。AMAT Centura Ultima Reactor有一个crucible型的腔室，其中央加热的敏感器支撑着广泛的基材尺寸。加热敏感器设计用于在加工过程中保持均匀性，确保大晶圆区域的薄膜均匀性。带有快速晶圆传输工具的Cruiser-Lift Process Loader提供了快速轻松地装载基板和盒式磁带到盒式磁带,以实现快速周转。此外，Ultima反应堆还设计了一个机械臂，用于晶圆的装卸和薄膜形成的封装。APPLICED MATERIALS Centura Ultima Reactor用途广泛,能够处理10nm至1um和2-200 nm厚的电介质层厚度。反应堆还与一系列材料兼容，包括Al、Al2O3和TiN。该设备内置资产控制和优化流程参数，简化流程开发和可重复性。Ultima反应堆配有高分辨率视频过程监视器，对过程步骤和结果提供完全自动化的实时现场监控。此外，Ultima反应堆还配备了包括自动关闭、自动气体关闭系统和远程关闭安全在内的内置安全功能。为了确保可靠的运行和高质量的结果，Ultima反应堆的设计便于维护和运行，采用模块化设计，便于维修和其他标准工艺使用部件。Ultima Reactor还附带了一个高级操作软件，旨在优化用户定义的参数。Centura Ultima Reactor给用户留下了高性能的工艺成果和高产率。它是一个快速循环、高度精确、可靠和安全的反应堆，可以方便地为各种半导体应用生产高质量的薄膜。