二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9087848 待售
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ID: 9087848
晶圆大小: 8"
优质的: 2009
HDPCVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
SMIF Interface: No
Narrow loadlock
(3) Ultima STD chambers
Chamber information
Chamber A:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber B:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber C:
Ebara ET1600W turbo pump
System monitor:
First monitor: Through the wall
Second monitor: Stand alone
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP Robot
Robot blade: Ceramic
Loadlock wafer mapping: Enhanced
N2 Purge type: STEC 4400MC
Gas delivery options:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: Veriflow 10 Ra Max
Filters: Mott
Transducers: MKS w/o display
Regulators: Veriflo
Single line drop
Top SLD gas line feed
Gas panel door: Safety wired glass
Top system cabinet exhaust
MFC:
Chamber A:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber B:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber C:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
50/60Hz, 208V, 320A, 100MA
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一种先进的纳米科学研究反应堆，设计用于执行具有超高通量和超长寿命性能的复杂过程操作。该系统具有高精度、高通量的多室反应器，可精确、精确地沉积具有高工艺通量的材料，有助于实现可重复、低成本的结果。该反应堆采用气体流速和压力控制可调的气溷，运行压力范围为1000毫巴，分辨率为0.0005，用于精细处理控制。它还具有坚固、密封的密室，旨在最大程度地减少污染风险，以便快速和方便地清洗。腔室设计优化了薄膜和分层过程的沉积均匀性，同时最大限度地减少了可能影响原本受到严格控制的环境的噪声和振动。该反应堆配有现场诊断和控制系统，包括高分辨率摄像机和微波气体分析仪，能够对沉积过程进行自动精确控制和监测。能够快速准确地诊断流程,使用户能够快速准确地解决任何问题。腔室也是机械可调的，允许调整不同参数和优化工艺。AMAT Centura Ultima专为与各种纳米材料和基材材料兼容而设计,提供了柔性沉积的好处。该系统具有三级洁净环境，保证了低颗粒环境和最佳温度稳定性。它还附带了一个由AMAT支持的创新方桉，包括客户应用、研究合作和纳米材料培训。所有组件，如目标持有者和沉积源，都根据用户要求进行协调和互换，确保能够满足任何纳米材料特有的加工需求。这座用途广泛的反应堆已被证明是一个可靠而有力的平台，可满足广泛的研发需求，提供终极的性能水平。APPLIED MATERIALS CENTURA Ultima设计多才多艺，具有可靠、可重复的结果，是先进纳米科学研究的宝贵工具。
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