二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一种先进的等离子体蚀刻/清洁室设备,可简化制造过程。该系统包括高真空室、射频发生器和等离子体源等组件。等离子体源是安装在顶室的Balor火炬。它由Balor/Balor Ultra双端双环形环设计组成,具有多达16个用于喷嘴冷却的化学输送端口阵列。腔室有一个等离子体组件来指导Balor Torch的操作，并包含了产生等离子体的变压器和氢氙化学输送单元。射频发生器提供激活等离子体源的能量。RF电源可以是各种配置，而腔室也有降低等离子体压力、提高RF功率利用率、提高蚀刻均匀性的六极磁场发生器。腔室配有各种部件，以确保均匀蚀刻图桉。为了保持内部清洁和没有污染物，排气扇和过滤机循环高速清洁空气并清除残留和产生的颗粒。AMAT Centura Ultima配备了MRP II气体技术工具，最多有五条气体管线来输送和控制室内的气体流动。此功能使用户能够在不同的基板上实现更一致的蚀刻速率。腔室还有一个可选的氦气（He）背面冷却套件，便于控制温度，以防止介电阻塞损坏和随后的过度蚀刻。前置装载机器人提供了一种通过腔室传输基板的简便安全的方法，腔室设计为便于进入所有部件进行维护和更换。密室被封闭在坚固的柜子里，坚固的结构可以承受恶劣的生产环境并确保人员的安全。APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一款功能强大的蚀刻/清洁工具。它是一种可靠和通用的资产，能够提供极其统一的蚀刻轮廓和可重现的结果。其高效的气体输送模式和高性能射频发生器使用户能够实现高精度的蚀刻和清洁，而其先进的组件和可定制的设计则让用户根据自己的具体需求和流程量身定制。