二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9157680 待售

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ID: 9157680
HDP CVD System (3) HDP CVD Chambers Ultima+ ENI Generators NOVA50A GHW50A.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一种功能齐全的多室化学气相沉积(CVD)反应器,设计用于金属和电介质的沉积。它能够沉积各种各样的材料,包括铝、硅、钛、钨和铜。设备配备了自动化压力控制系统、先进的监控单元和直观的用户界面,便于使用。Ultima还包括获得专利的超精确压控阻抗匹配(VCIM)机器,以确保最佳和可重复的沉积过程。反应堆的多室设计和模块化平台提供了无与伦比的灵活性,使用户能够对每个室应用不同的工艺和参数,以便为特定应用量身定制表面亲水性、附着力和屏障性能。集成的温度控制器和多个气流源使用户能够精确控制沉积速率、热分布和均匀性。此外,Ultima还提供低电接触电阻、增强的粒子过滤以及最先进的安全特性。Ultima具有定制设计的加热元件,可确保均匀的传热和最小化的热梯度。热元件还提供了高达950摄氏度的改进温度范围,使用户在沉积过程中具有更大的灵活性。利用先进的监控和自动压力控制,用户可以确保一致的参数和可重现的结果。Ultima的一大好处是它的噪音最小化,这要归功于它的专利VCIM。该工具还有助于减少维护,创造更安全、更可靠的沉积环境。Ultima还简化了晶片的装卸,其自动卡带到卡带的运动和无工具的检修门。这确保了腔室装卸之间的快速轻松过渡,节省了时间,减少了误差。此外,其气动驱动的隔离阀允许隔离反应堆的未使用部件,进一步精简腔室装卸。总体而言,AMAT Centura Ultima是铝、硅、钛、钨和铜等材料的理想沉积资产。利用先进的监控模型、自动压力控制、直观的用户界面和获得专利的VCIM设备等功能,用户可以享受改进的沉积工艺和设备可靠性。Ultima还提供了高达950°C的改进热范围和较低的电接触电阻,以及增强的颗粒过滤和安全的装卸,以实现最大的用户灵活性和保护。
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