二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9189699 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一种反应器,设计用于通过物理气相沉积(PVD)沉积薄膜。AMAT Centura Ultima是AMAT开发的一系列PVD系统中的最新产品,具有先进的技术,可确保创建最优质的薄膜。该设备由三个主要部件组成:PVD源、腔室和基板操纵器。PVD源是一个真空室,容纳要沉积的材料。气体以低压注入室内,材料被加热到几百摄氏度,从而使材料蒸发到基板上。Chamber是APPLIED MATERIALS Centura Ultima的主体,提供保护源免受系统其余部分的屏蔽。该腔室通常是大气压力,是底物操纵器的所在地。基板操纵器是与基板和沉积材料直接相互作用的单元的一部分。基板操纵器的责任是将基板和沉积材料相对移动以进行沉积。Centura Ultima是为薄膜沉积提供最先进、最高效的方法而打造的。仔细设计和实施机器的各种组件,可以使薄膜沉积在一个薄达10 nm的均匀层中。该源经过优化,可提供较高的沉积速率,确保现有的最高吞吐量并确保经济高效的操作。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima的其他功能有助于提高成本效益和用户的便利性:晶圆尺寸的自动调整和简单优化过程的灵活配方工具。最后,AMAT Centura Ultima的设计既可靠又易于维护。通过提供高度可访问的腔室设计和多个视图端口,可以快速、安全地进行维护。Shield Sicceptor Generator也可以被用户轻易交换,以确保最佳性能和限制停机时间。APPLIED MATERIALS Centura Ultima是下一代薄膜沉积系统,提供业界领先的性能、可靠性和便利性。Centura Ultima具有优化的光源和沉积10 nm薄膜的能力,可为薄膜沉积需求提供完整的解决方桉。
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