二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9190695 待售

ID: 9190695
晶圆大小: 12"
System, 12".
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一种前沿蚀刻反应器,设计用于在敏感基板上进行蚀刻、沉积和植入等复杂过程。它由多个外壳保护,提供无与伦比的安全性和清洁性。最新版本的AMAT Centura Ultima设计用于处理200毫米和300毫米晶圆尺寸,允许客户为其工艺选择量身定制的解决方桉。反应堆具有独特的两级真空系统,与单级系统相比保持更恒定的压力和清洁。这使得反应堆非常适合微电子和MEMS生产所需的关键过程。APPLIED MATERIALS Centura Ultima提供多种尺寸和配置,使其适合各种过程。多个气体喷射器和加热区提供了对工艺环境的精确控制。反应堆还提供了一个高纯度的计量室,有助于实时准确监测过程。此外,可以精确调整工艺室内的温度和压力,以提供最佳结果。在性能方面,Centura Ultima提供了对气流和等离子体均匀性的精确控制。这大大减少了蚀刻负载,这意味着客户可以使用低得多的工艺条件,并且仍然可以实现较高的蚀刻速率。反应堆均匀性也得到增强,以确保整个基板的整个区域过程均匀。应用材料/AMAT/应用材料Centura Ultima是市场上最先进的反应堆之一。客户受益于先进的两级真空系统,精确的温压控制,一致的等离子体均匀性。客户还可以从两种晶圆尺寸中选择一种,为其特定流程创建定制的解决方桉。所有这些特性使得AMAT Centura Ultima成为敏感微电子和MEMS生产的理想选择。
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