二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WCVD #9116744 待售
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ID: 9116744
晶圆大小: 8"
WxZ System, 8"
(2) Chambers
Loadlock: N/B
Mainframe:
Centura
Phase
Robot: HEWLETT-PACKARD
Enhanced cooling
Gas control type: VME1
Generator: OEM12B3
SBC BD: V440
Heater included.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WCVD是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于先进材料的外延过程。用于高等级集成电路基板的紧密晶粒结构和外延的生长。WCVD利用了反应室设计的最新进展，实现了优异的性能、工艺均匀性和鲁棒性。AMAT Centura WCVD具有一个垂直管反应室,该室采用水冷处理,以实现卓越的热管理.该反应室具有可移动的射频/直流磁体，用于广泛的外延（晶圆生长）加工和机器操作能力。反应室还设计有气体密封特性，如增强形状和射频屏蔽板，以提高操作期间的安全性。APPLIED MATERIALS CENTURA WCVD由高级控制系统提供支持,该系统提供了广泛的过程监视选项。具有先进的温压控制、高精度热管理、射频功率和源气控制等特点。另外，反应室内的压力和温度可分别维持在10毫升和100摄氏度的范围内。在材料制备方面，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA WCVD配备了一个锁载室，与一个盒式装载模块集成在一起。这种锁载室使晶片更容易从盒式磁带转移到加工室。它还具有侧载口，允许直接沉积到真空室中。此外，AMAT CENTURA WCVD还配备了广泛的附件，包括排气泵、气体输送系统以及加热和冷却的输送线，以加强运行。Centura WCVD是先进的CVD反应器，非常适合先进材料的外延过程。CENTURA WCVD凭借其创新的反作用室设计、先进的温压控制能力、高精度的热管理以及广泛的配件，提供卓越的性能、工艺一致性和鲁棒性。
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