二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP
ID: 9121263
WCVD Chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxP是一种单晶圆生产反应器,旨在为先进的IC制造市场提供高容量的工艺解决方桉。WxP反应堆有三种配置-仅桶、湿或柔性。每个配置都是一个高性能、高配置的平台,能够满足高级半导体生产过程的需求。该反应器的建造是为了提供灵活的技术,包括CMP、ASAT、间隙填充、电化学沉积、蚀刻、PVD沉积等等。它提供了一个高级过程变化管理(PVM)模块,允许在生产过程中监视、预测和优化过程条件。反应堆界面的可自定义设计使工艺工程师能够快速调整和试验参数,以优化工艺。WxP反应堆装有低压化学气相沉积(LPCVD)系统,使多晶硅、氧化硅和低k介电材料的沉积质量更高。它还装有一个电化学沉积(ECD)系统,用于钨沉积以及重新分配和背面填充应用。WxP反应堆具有先进的机器人技术和尺寸调整系统,以确保精确的放置和准确的散装物料处理。此外,反应堆还具有气闸、压阻板和超压报警器等多种安全特性,以确保运行期间的最佳安全。WxP反应堆以其多工艺能力提供高生产率,同时确保准确性和性能。它采用先进的运动和晶片处理技术,可实现晶片和模具级对准。它还与性能测量和检查工具集成在一起,以检测缺陷并提供有关过程性能的反馈。总体而言,AMAT Centura WxP是一个先进的反应堆,旨在提供高质量的结果和提高半导体生产的吞吐量。其可配置的设计和可定制的模块使工程师能够将反应堆设置与不同的工艺要求相匹配,同时其先进的安全功能确保安全的工作环境。
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